SSDR150 系统特点
。 铝合金腔体+内置石英管反应室，支持长时间高功率下工作
。工艺气压可达 350 mbar 或更高，可以高速率生长单晶
。微波源为 2.45GHz、 大功率 6 kW，高耦合效率
。标准配置 4 条气路， 多可增加至 7 条气路（掺杂气路）
。2 英寸水冷样品台，高度电动可调、精度优于 10μm (可选)
。双色红外高温计测试样品表面温度，范围 475-1475 °C
。爱德华兹分子泵+ 干泵， 佳真空度≤ 3×10-7 mbar
。高水平金刚石生长工艺培训及演示（内容根据应用而定）
。全自动控制、半自动和手动可用，图形化操作界面（GUI）
。多级用户设置和管理、远程诊断和维护、数据导出接口
。多用途：高纯度单晶、厚单晶、大单晶、掺杂、光学窗口
。设备维护少、安全、可靠、稳定、性价比高