近日，广东皓天检测仪器有限公司（简称 “广皓天”）与某头部芯片企业达成战略合作，联合推出专为半导体可靠性测试打造的复层温湿度试验箱，破解传统设备测试效率低、环境模拟单一的行业痛点，为芯片质量管控提供关键支撑。

该设备搭载广皓天自主研发的闭环 PID 控制系统，通过 A 级 PT100 传感器 1000Hz 高频采样，将温度控制精度提升至 ±0.5℃，湿度波动不超过 ±3% RH，舱内温湿度均匀度≤2℃/3% RH。相较于传统单舱设备，其创新采用 “主机制冷 + 分层变频辅助” 模式，节能达 40%，且支持 “恒温恒湿 + 循环交变 + 低温低湿” 复合测试，测试效率提升 3 倍以上。

“复层设计解决了多批次芯片并行测试的场地与成本难题。” 合作芯片企业研发负责人表示，该设备已应用于 28nm 制程芯片的封装可靠性测试，通过 85℃/85% RH 高温高湿偏压试验与 - 40℃~85℃循环测试，成功定位水汽渗透导致的漏电流异常问题，使产品早期失效率降低 40%。

广皓天半导体设备事业部总监透露，设备已实现核心部件全链条国产化，分层数据独立存储系统可生成 CNAS 认证报告，目前已完成调试并投入量产测试。未来双方将进一步优化 AI 算法控温策略，开发温湿度与振动耦合测试功能，助力芯片国产化突破。